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品牌：

芯晖装备

型号：

200mm硅片抛光设备

关注度：

912

产品介绍



基本规格

  • 尺寸： 2.8 米（长）x1.2 米（宽）x2.2 米（高）

  • 重量：4.5 吨

设备构成

  • 研削主轴（2sets）

  • 清洗干燥单元

  • 背面清洗单元

  • 搬送单元（Robot）

**加工尺寸

  • φ 200mm

加工方式

  • 干进，干出


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200mm硅片抛光设备

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