在线粒度仪-日本RION MR-S1 浆料监测系统 CMP抛光液在线颗粒监控设备-深圳森泽工业品有限公司-产品详情

日本RION MR-S1 浆料监测系统 CMP抛光液在线颗粒监控设备

MR-S1

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深圳森泽工业品有限公司

日本

产品规格型号

参考报价：

1万元以下

型号：

MR-S1

关注度：

180

范围（量程或细度）：

0-0.05

创新点：

KS‑71 传感器直接接入工艺管路，持续监测浆料颗粒状态，规避离线取样带来的时间滞后问题。

产品介绍

对CMP用浆料中的颗粒进行无稀释度测量

● 通过CMP技术监测浆料中含有的粗大颗粒物

● 可安装于使用点，无需稀释即可直接进行测量

● 通过在线监测实现对划痕缺陷的早期发现

● 适用于制造现场的持续监控

规格表

触控面板	1. 测定条件设定 2. 测定开始、停止 3. 趋势曲线图 4. 数据数值列表 5. 报错信息列表
外部输出	1. 可通过触控面板经由以太网向上位计算机传输数据 2. I/O 系统 8 点继电器输出配置
粒径区分（2 档）	3 μm 以上、5 μm 以上
测定可变范围	选择 3 μm 规格：MAX 25 μm 选择 5 μm 规格：MAX 40 μm
额定流量	60 mL/min
电源	AC100 V、50/60 Hz
接口规格	PFA 3/8 英寸
外形尺寸・重量	480(H) × 300(W) × 300(D) mm，14 kg

CMP颗粒传感器 KS-71

图片.png

光学方式	遮光式
光源	半导体激光（波长 780 nm，额定输出 3 mW）
激光产品等级	Class1，符合 IEC 60825-1:2001
受光元件	光电二极管
额定流量	60 mL/min
试样导入加压	300 kPa（表压）以下
试样温度范围	15 ℃～35 ℃（检测池部位不可结露）
接液部件材质	合成石英、PFA
可测粒径	MIN 3 μm
可测粒径	MAX 25 μm（若有大于 25 μm 颗粒通过，峰值精度会下降）
粒径区分（2 档）	3 μm 以上、5 μm 以上
计数效率	50 ±10 %（纯水中，粒径接近 5 μm 的 PSL 粒子，在 3 μm 档位与参照仪器对比条件下）
额定粒子个数浓度	MAX 62000 个 /min
电源（由外部控制接线端子供电）	输入电压范围：DC9 V～28 V 功耗：MAX 3.0 VA
使用温湿度范围	15 ℃～35 ℃、85 % RH 以下（不可结露）
保存温湿度范围	−10 ℃～50 ℃、90 % RH 以下（不可结露，流路内液体不可冻结）
外形・重量	51 (H) × 107 (W) × 58 (D) mm（不含凸起部位），约 400 g

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MR-S1

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