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Apreo C场发射扫描电镜带能谱仪

Apreo SEM

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赛默飞世尔科技(中国)有限公司

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面议

品牌:

赛默飞

型号:

Apreo SEM

关注度:

6678

范围(量程或细度):

--

产品介绍

Thermo Scientifific Apreo SEM 具有*广泛地适用性,可以 在*短时间内为材料研究人员提供**的成像质量。 Apreo 的电子束打开,形貌和成分衬度可以同时被镜筒内探 测系统呈现:无需繁琐操作,即可快速探索并获取样品各方面 信息。在高放大倍率下,Apreo 的长工作距离(如 10mm 分析 工作距离)也能表现出杰出的分辨性能。即使在绝缘、电子束敏 感或磁性的材料上,Apreo的用户界面也可以高效地引导操作者 获得表征该纳米结构的**参数条件。 Apreo 能在短时间内 解决错综复杂的研究问题,适用于需要多功能以及多用户操作 的应用场合。 Apreo 是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台, 其创新的末级透镜设计,丝毫不会降低对磁性样品的分辨能 力。 静电式末级透镜(Apreo C Apreo S)能够实现镜筒内 多种信号的同时探测和高分辨率,而 Apreo S 则结合静电、浸 没式磁场的复合透镜以进步提高低电压下的分辨率,在 1 kV  加速电压下的分辨率为 1.0 nm,不需要电子束减速。通过将浸 没式磁透镜和静电透镜组合还可以实现特有的信号过滤功能。 Apreo 拥有透镜内背散射探测器 T1,其位置紧靠样品,确保在 较短的时间内获得**量的采集信号。与其他背散射探测器不 同,这种快速的探测器在导航时、倾斜时或工作距离很短时能 够始终保持良好的材料衬度。在表征敏感样品时,探测器的优 越性能尤为突出,即使电流低至几 pA,它也能提供清晰的背散 射图像。Apreo S 复合末级透镜通过能量过滤实现高质量的材 料衬度以及绝缘样品的无电荷成像,进步提高了 T1 BSE 测器的使用价值。Apreo 还提供了受欢迎的选配探头来补充其 探测能力,例如定向背散射探测器(DBS)STEM 3+ 和低真空气 体分析探测器(GAD)。所有这些探测器都拥有独无二的软件控 制分割功能,以便根据需求选择*有价值的样品信息。


全面实现纳米或亚纳米分辨性能,从纳米颗粒,粉末,催化 剂和纳米器件到块状磁性样品等材料。 ***的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度,即使 是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品 进行 TV 速率成像是也不例外。 无比灵活的探测器可将各个探测器分割提供的信息相结 合,让用户能够获得至关重要的对比或信号强度。 各种各样的荷电缓解策略,包括样品仓压力**为 500 Pa  的低真空模式,可实现任何样品的成像。 **的分析平台提供高电子束电流,而且束斑很小。仓室支 持三个 EDS 探测器、共面的 EDS EBSD 以及针对分析 而优化的低真空系统。 样品处理和导航极容易,具有多用途样品支架和 Nav-Cam+通过高级用户指导、预设和撤消功能为新用户提供专 家级结果。 高真空模式下成像的羟磷灰石晶体的低能量 (1 keV) 二次电子图像。


 每个 Apreo 都按标准配备各种用以处理绝缘样品的策略,包 括:高真空技术,例如 SmartSCAN、漂移补偿帧积分(DCFI) 电荷过滤。对于*有挑战性的应用,Apreo 可提供电荷缓解策 略。其中包括可选的低真空(**为 500 Pa)策略,通过经现场 验证的穿镜式差分抽气机构和专用低真空探测器,不但可以缓 解任何样品上的电荷,还能提供**的分辨率和较大的分析电 流。 随着分析技术的使用越来越常规化,Apreo 仓室经过全新设计, 以便更好地支持不同的配件和实验。仓室*多容纳三个 EDS/ WDS 端口,可实现快速敏感的 X 射线测量、共面 EDS/EBSD/ TKD 排列并与(冷冻)CL、拉曼、 EBIC 和其他技术兼容。 所有这些功能都能通过简单的样品处理和熟悉的 xT UI 获得, 节省了新用户和专家级用户的时间。可自定义的用户界面提供 了诸多用户指导、自动化和远程操作选项。 通过所有这些优势(包括复合末级透镜、高级探测和灵活样品 处理), Apreo 可提供出色的性能和多功能性,帮助您应对未 来多年的研究难题。

.8 nm 电子光学器件 高分辨率场发射 SEM 镜筒,配有: 高稳定性肖特基场发射电子枪,用于提供稳定的高分辨率分 析电流 复合末级透镜:静电、无磁场和浸没磁技术结合而成的物 * 60° 物镜几何结构:支持倾斜较大的样品 自动加热式光阑,可确保清洁和无接触式更换光阑孔 支持低真空*的穿镜式差分抽气结构,可减少电子束裙散效 应,以实现*精准的分析和**的分辨率 载物台偏压在 -4000 V +600 V 之间的电子束减速 持续的电子束电流控制和经过优化的孔隙角度 双载物台扫描偏转 轻松安装和维护的电子枪 自动烘烤、自动启动、无需机械合 保证的*短灯丝寿命:24个月 电子束分辨率 ,**工作距离 型号 Apreo C Apreo S 末级透镜 静电式 复合式 高真空 30 kV (STEM) 0.8nm 15 kV 1.0 nm 0.7 nm 1 kV 1.3 nm 1.0 nm 1 kV (样品台减速) 1.0 nm 0.8 nm 500 V (样品台减速) 0.9 nm 100 V (样品台减速) 1.8 nm 低真空* 15 kV 1.2 nm 3 kV 1


默认情况下,在完成*终安装后的系统验收测试中将检验在高真空并启用浸没 模式(如果适用)的情况下电压为 1 kV 30 kV 时的分辨率。 电子束参数 电子束电流范围: 1 pA - 400 nA 加速电压: 200 V 30 kV 着陆能量范围: 20 eV 30 keV **水平视场宽:10 mm 工作距离下为 3.0 mm(对应于 *小 放大倍率 x29• 10mm 分析工作距离 1kV 时电子束分辨率: 1nm 仓室 内宽: 340 mm 分析工作距离: 10 mm • 12 个color:rgb(35,31,32);"> 500 Pa EDS 出射角度为 35° 可同时安装三个 EDS 探测器, 两个处于 180° 共面的 EDS/EBSD 与样品台的倾斜轴垂直。 探测器 Apreo 通过可用探测器或探测器的分割部分的任意组合,*多 可同时探 测四个信号: • Trinity 探测系统 (透镜内和镜筒内) T1 分割式透镜内低位探测器 T2 透镜内高位探测器 T3 镜筒内探测器* • ETD Everhart-Thornley SE 探测器 • DBS 可伸缩分割式透镜下 BSED* 低真空 SE 探测器* • DBS-GAD - 安装在透镜上的气体分析 BSED • STEM 3+ 可伸缩分割式探测器(BFDFHADFHAADF)* • IR-CCD • Nav-Cam+ - 安装在仓室内的样品导航摄像头 真空系统 完全无油的真空系统 • 1 × 220 l/s TMP • 1 × PVP-涡旋泵 • 2 × IGP 仓室真空(高真空)< 6.3 × 10-6 mbar72 小时抽气后) 抽气时间:≤ 3.5 分钟 可选的低真空模式 仓室压力为 10 到500pa

lor:rgb(35,31,32);">分割和缝合 载物台和样品 类型 共心测角台,5 轴电动 XY 110 × 110 mm 重复性 < 3.0 μm (0° 倾斜时)  电动 Z 65 mm 旋转 n × 360° 倾斜 -15° / +90° **样品高度 距共心点 85mm **样品重量 任意载物台位置均为 500g 0°倾斜时,**为 2kg**样品尺寸 可沿 XY 轴完全旋转时直径为 122  mm(若样品超过此限值,则载物台行程 或旋转受限) 每个可选横杆可容纳 6 S/TEM 载网 晶圆和自定义支架* 系统控制 • 64 GUI (Windows 7)、键盘、可选鼠标 • 24 英寸 LCD 显示屏、WUXGA 1920 × 1200(第二台监视器 可选) 可定制的图形用户界面,*多同时激活 4 个视图 图像注册 蒙太奇导航 图像分析软件 撤消/重做功能 有关基本操作/应用的用户指南 可选操纵杆 可选的手动用户界面(旋钮板) 图像处理器 驻留时间范围为 25 纳秒 - 25 毫秒/像素 ** 6144 × 4096 像素 文件类型:TIFF81624 位)、JPEG BMP 单帧或 4 视图图像显示 • SmartSCAN256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行 扫描) • DCFI(漂移补偿帧积分) 配件(可选) 样品/仓室清洁:FEI CryoCleanerFEI 集成的等离子清洗器 分析:EDSEBSDWDSCL、拉曼 QuickLoader:用于快速样品传输的交换仓 导航:关联导航、MAPS

2);">应用培训合同 • FEI 气体注入:*多 2 个单位(其他配件可能会限制可用的 GIS 数), 适用于以下材料的电子束诱导沉积: 机械手 冷冻载物台 电气探查/多探查台 静电束闸 软件选项 • MAPS,适用于自动采集大型图像和可选的相关工作 • iFast,提供高级自动化功能 具有网络连接的数据归档软件 高级图像分析软件 文档 在线用户指南 使用说明手册 在线帮助 适用 RAPID(远程诊断支持) 免费访问FEI for Owners在线资源 保修和培训 • 1 年保修 可选服务维护合同 可选操作/

35,31,32);">) 安装要求 (请参考安装前指南,以获取详细数据) 电源: 电压:100 - 240 V AC-6%+10%频率:50 60 Hz (±1%) 能耗:< 3.0 kVA(基本款显微镜) 接地电阻:< 0.1 Ω 环境: 温度:(20 ± 3)°C 相对湿度:低于 80% 杂散 AC 磁场:在 20 ms50 Hz 电源)或 17 ms60 Hz 源) 线时间下,< 40 nT(异步)或 < 100 nT(同步) *小门尺寸:0.9 m × 1.9 m 重量:镜筒控制台为 980 kg 建议使用干氮进行放气 干净、干燥且无油的 4 - 6 bar 压缩空气 系统水冷却装置 噪音:根据相关声谱进行现场调查 <span style=";font-size:13px;font-family:FZLTXHK;col

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