光刻胶固化烘箱厂家推荐——认准：上海简户仪器

光刻胶固化烘箱厂家，半导体光刻胶固化专用精密固化设备厂家

产品介绍

光刻胶固化烘箱是专为半导体光刻工艺开发的专用烘烤固化设备，主要完成晶圆、基板表面光刻胶前烘、软烘、坚膜固化工序，精准去除光刻胶内部溶剂，完成胶层交联固化，保障光刻图案线条精度与附着力，可适配实验室研发与产线批量生产，规避普通烘箱温场不均、颗粒污染造成的光刻报废问题。

产地

产地：中国上海，由上海简户仪器设备有限公司原厂生产制造，整机国内装配，核心元器件精选国内外优质部件，拒绝贴牌代工，可提供原厂出厂检测报告。

产品特点

1、高精度闭环 PID 温控系统，支持多段阶梯升温保温工艺曲线，适配正性胶、负性胶、PSPI 光敏胶固化工艺； 2、内胆采用满焊镜面 SUS316 不锈钢，无死角易清洁，配置 HEPA 高效过滤，抑制腔体内颗粒产生； 3、无风静置烘烤模式，避免气流扰动造成光刻胶偏移、图案变形； 4、多重安全联锁，超温保护、电磁门互锁、漏电短路保护，支持氮气吹扫除氧选配； 5、7 英寸触控操作屏，内置工艺配方库，运行数据可存储导出，满足半导体工艺追溯要求。

应用领域

广泛用于半导体晶圆制造、芯片封装、FPC 柔性线路板、光学玻璃基板、显示面板、高校科研院所、第三方半导体实验室，光刻胶软烘、坚膜固化、PSPI 胶固化处理。

参数指标

• 温度范围：室温 + 50℃～350℃（可定制** 450℃高温版本）

• 温度均匀度：±1℃（满载状态）

• 洁净等级：Class100‑Class1000 可选

• 内胆材质：SUS316L 镜面不锈钢满焊

• 升温速率：1‑20℃/min 可调

• 氧含量：常规，选配充氮可达≤5ppm

• 内箱尺寸：多规格可选，支持非标定制

• 供电：AC220V/380V

仪器优点

对标进口设备性能，性价比突出；无风固化保护光刻胶膜层不偏移；温场一致性高，批次之间工艺重复性好；整机模块化结构，维护简单；支持对接 MES 系统，适配工厂自动化产线；上海本地厂家，售后响应快，可上门做 IQ/OQ 验证服务。

价格

标准台式实验室款：18000 元起；产线量产型：45000‑280000 元；特殊高温、真空、百级洁净定制机型价格面议，一台起订，可提供详细报价单。

创新点

1、自研光刻胶专用无风风道结构，杜绝气流冲刷胶面； 2、内置 500 + 光刻胶固化工艺配方库，可直接调用，减少客户工艺调试成本； 3、工艺数据全程记录，可导出，满足半导体行业可追溯管控； 4、CFD 流体仿真优化腔体，减少腔体内挥发物二次沉降污染工件。

典型用户

国内半导体科研院校、芯片研发实验室、面板企业、FPC 生产厂商、光电子器件企业。

采购建议

光刻胶固化烘箱，找上海简户仪器买，源头厂家，支持来图来样定制，提供工艺技术支持、上门安装调试、整机维保服务