参数

单位

OPP120SM

型号

V- OPPSM120

备注

-

传感器

SG，ECS

主动轴

TZ

**空载位移[Tz]

um

140

**转动[Rx， Ry]

urad

25

电压范围

V

-20…150

分辨率

nm

14

硬度

N/um

0.71

高度(Z 轴)

mm

50.0

尺寸

mm

65*40

质量

g

180

空载共振频率(在致动方向)负载=50g

Hz

600

负载响应时间

ms

1.14

电容 (每个电气接口)

uF

3.15

机械接口(有效负载)

物镜接口 M25 *0.75(指定)

机械接口(框架)

显微镜接口(** M25 *0.75)

电气接口

1RG 178B/U 同轴电缆