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德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000

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广州市固润光电科技有限公司

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产品介绍

德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000介绍

过程质谱仪 Versa PS 2000 是为在线透射测定和及时测量生产过程中的光层而设计的。它也可用于其他光学测试,例如:涂覆过程中液体或者反射光的光谱传输测量

PS 2000的特点

·快速精准测量 (测量时间低至10 μs)

·快速读取

·多种数据接口

·由外部位置传感器读出

·性能稳定可靠

Versa PS2000的固件能够预处理测量数据,所以我们的过程光谱仪能够处理计算进程数据,例如反射率和光层厚度Versa PS 2000也可与一个外部光源(卤素灯或者疝气闪光灯)

应用 数据

·在线光谱测试 ·USB (high or full speed)

·真空沉积的过程控制 ·LAN

·薄膜厚度测试 ·RS 232/ 422/ 485

·仪器仪表分析

·多通道光谱分析系统

产品描述

·存储的参考参数

·数据预处理, 暗信号矫正, **校准

·内部计算平均值、插值、传输率、反射率、吸收率、色度坐标等参数

·基于DLL的SDK和SCPI(仪器标准指令)可兼容的控制语法

·软件和硬件的触发

规格参数

光学参数
光谱范围

200 nm ... 1000 nm

光谱仪

flat field holographic grating, aberration correction

mirror

光谱带宽

≤ 4.0 nm FWHM (100 μm slit)

≤ 2.5 nm FWHM (50 μm slit)

≤ 2.0 nm FWHM (30 μm slit)

不对称因子

≥ 0.7

光输入

200 mm 光纤带F-SMA 905接头

波长准确性

≤ 0.2 nm (HgAr 线性光)

波长重复性

≤0.02 nm (HgAr 线性光)

杂散光

< 0.2 % (ASTM E387, GG495,

波长 = 420 nm/ 600 nm)

动力

取决于探头类型

探头25 mm BTCCD, CMOS, NMOS*
电子参数
数字解析度

16 bit

AD噪声

2 counts RMS

采样速率

up to 4 MS/ s

数据传输率

up to 40 Mb/ s (via High Speed USB)

集成时间

0.01 ... 65535 ms

触发延迟

10 μs

抖动

≤2μs

数据接口

USB

Ethernet or RS 422/485

RS 232

电源

110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used)

机械参数
体积

25 cm x 25 cm x 15 cm

重量

3 kg

标配清单主机、配套软件、电源线、JETI软件开发包、操作手册

其他配件可依客户需求订配

产品咨询

德国进口JETI过程质谱仪Versa PS 2000

广州市固润光电科技有限公司

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