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日本KDN 多晶硅凝固培育装置 MSF系列

MSF-690C / MSF-840C

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深圳森泽工业品有限公司

日本

产品规格型号
参考报价:

1万元以下

型号:

MSF-690C / MSF-840C

关注度:

426

范围(量程或细度):

0-0.05

创新点:

上下分区高纯石墨非金属加热,1700℃高温无金属杂质析出,不污染熔融硅料;
伺服隔热笼微米级升降调节,精准可控垂直温度梯度,降低硅锭位错缺陷;
双层水冷低泄漏密闭腔体,长期稳定维持高纯氩气环境,大幅减少惰性气体消耗。

产品介绍

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  • 通过PC进行集中控制,界面布局(共5个界面)

  • 紧凑型炉体

  • 降低运营成本

  • 具有优异安全性的设计

硅材料可投入的**尺寸840×840×250(毫米)
育成时间60~70小时
结晶重量420公斤
加热温度**1700℃,常用1600℃(碳加热器)
炉内压力大气压~减压
氛围氩气流量:1~50升/分钟,压力为0.2兆帕,流量为50升/分钟
电源三相交流,400/440伏,50/60赫兹通用,300千伏安
耐火材成形隔热材料(碳质材料)
冷却水压力0.3MPa 流量400L/min 温度35℃以下
空气0.5MPa以上
腔室水冷双重结构


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