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脱胶插片清洗一体机
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脱胶插片清洗一体机
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脱胶插片清洗一体机
产品介绍
该设备可实现硅片自动脱胶、插片、上料、清洗、下料等功能。
产品特点
应用于大尺寸210硅片清洗；
可与AGV自动送料车实现自动化对接；
取代人工实现插片机弹夹的自动上下料；
利用RFID实现产品数据信息的自动传输；
立式插片减少大尺寸硅片碎片率；
MES系统互联，数据自动交换。
