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全自动隧道式显影清洗机

全自动隧道式显影清洗机

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江苏容道社半导体设备科技有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

容道社

型号:

全自动隧道式显影清洗机

关注度:

193

产品介绍

产品特点

● 适用于宽2000mm以内玻璃片的显影清洗工艺;

● 产品主机由上料单元、显影单元、清洗单元、风干单元、下料单元组成;

● 设备支持SEMI GEM标准;

● 采用多种安全保障措施和安全装置;

● 采用电脑自动控制系统,工艺菜单可根据需求进行修改并可保存多个菜单,工艺全过程直观、全面显示,互动性强;

● 系统控制全面、抗干扰性强、可靠性高、维修方便,具有故障提示和安全报警功能;

● 设备运行稳定、可靠、集成度高,结构合理紧凑,操作方便;

● 可根据客户工艺制程特殊需求进行定制化服务。

功能简介

规格与说明

晶片尺寸

长1500mm宽2000mm以内

设备产能

依工艺条件而定

衬底材质

玻璃

适用工艺

G-line

应用领域

大尺寸显屏

FFU

配置FFU洁净系统, 确保洁净度达标

电机

采用高精度伺服电机

显影

配置高压喷射装置 (压力可根据制程要求设置)

清洗喷嘴

采用星状分布喷嘴

风干

配置正反面自研风刀式干燥氮气吹扫, 效率更高

流量计

按客户工艺要求选配

控制系统

工控机、 17“触摸屏 (可按客户需求配置)

操作系统

WINDOWS、图形化人机界面、可编程

通讯与信息化

以太网、配有SECS/GEM适配模块、提供现场通讯对接

厂务

标配水、电、气、液I/O接口


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