PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场测量系统，该产品是原位透射电子显微镜实验系统，使研究

者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等），从而对材料或者

器件等样品实现多重激励下的原位表征。 

性能指标

 透射电镜指标：

● 兼容指定电镜型号及极靴；

● 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

● 电流分辨率：优于100 fA；

● 电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操纵指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

● 多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤；

● 配备快速SMA接头、FC接头；

加热指标：

● 温度范围：室温到1000 ℃；

● 温度准确度优于 5% ；

● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。

应用场景

 可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加至多四种激励，实现多种复杂的测

试功能，完成以往无法实现的研究。

（1）高温拉伸/压缩（加热芯片+电学STM探针）；

（2）热电子发射/场发射（加热芯片+电学STM探针）；

（3）三端器件测量（电学芯片+电学STM探针）；

（4）电致发光现象研究（电学芯片+光学STM探针）；

（5）光电现象研究（电学芯片+光学STM探针）。

产品特色

稳定性高

轻松获得大幅度运动中的高分辨像，适用于更广泛的应用场景和样品体系。

很长的寿命

**技术（**种类：实用新型（具备高分辨多维操纵和电学测量的电子显微镜原位样品杆） 

**号：202020944865 .4）的“爪-球”结构探针杆因其独特的结构设计，是公认皮实耐用的探

针杆。

很低维护成本

设备配套的针尖制备系统可低成本制备针尖耗材。”爪-球“微动结构已实现模块化量产，维护成

本低。

很大的用户群

在国内拥有近200个高质量原位用户，出口到欧美澳等地。每年，用户会产出大量高质量研究成果

。定期组织各类用户交流活动，搭建学术平台供用户交流。