PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的**一代产品。基于创新的模块化平台设计，PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合，允许用户扩展 PD Xpadion 系统，不仅包括颗粒检测，还包括通过拉曼分析进行颗粒表征，膜膜厚度和均匀性，以及膜健康监测工具。

产品特色

高机械强健度：平均故障间隔时间高达 1500 个小时；可以保证98%以上的正常运行时间。

高灵活性：可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描；兼容 ASML, NIKON，CANON 等一系列厂商的光罩盒；可以支持不同的光掩膜承载手段。

高性能：可以实现光掩膜三个面的扫面（玻璃面，薄膜面以及图形面）；单面的扫面时间仅需要 4 分钟；标配 0.5 um 的精度；良好的误检过滤算法。

高模块化：可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备；可以连接颗粒去除系统（见下图）；可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。

核心参数

精度规格：0.5 um/0.35 um/0.1 um

吞吐量：12 min/片 （上下两面扫描）

环境光罩尺寸：5寸-9寸

正常运行时间：98%

技术指标