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LST-300S型共焦半自动平整度测试仪
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北京三禾泰达技术有限公司
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三禾泰达
LST-300S型共焦半自动平整度测试仪
302
性能参数(Specification)
Parameter | Value |
分辨率（Z axis Resolution） | 0.02μm |
传感器重复性（Repeatability） | 0.20μm
|
测量精度（Accuracy） | ±0.5μm（双抛片）
|
测量点数（Measured Data Points） | 400~10000 |
厚度精度（Thickness） | ±0.5μm（双抛片） |
Mapping50/ 12英寸速度(Speed) | 10 Minuts/P（米字模式） |
结果界面(Result Interface)
硬件组成(Hardware Composition)
本机由光源系统、运动平台系统、机械支撑系统、控制及计算系统四部分构成。
WMS-208AT型激光非接触式厚度分选机
TMI-A型激光非接触手动测厚仪
LST-208型白光共焦法平面度测试仪
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LINT-208G自动型WAFER平坦度测试仪
ALC-SI型自动研磨厚度测控仪
ALC-2100型频率自动研磨测控仪
TCS-A型电涡流在线研磨厚度測控仪
ABS-2000型压电石英BLANK频率分选机
LST-200H型半自动共焦平整度测试仪
WS-300AD型晶圆平整度测试仪
MSP-300A型Glass Wafer平整度测试仪
