⊙ 真正研磨至纳米级高端研磨机
⊙ 棒销研磨腔设计
⊙ 批次、循环研磨，操作方便
⊙ 循环流量大，效率高
⊙ 分离系统采用了动态分离器，可以使用0.1mm氧化锆珠
⊙ 研磨筒可为双冷却系统，效果好，也可强制冷却
⊙ 进口双端面机械密封，带强制冷却
⊙ 研磨细度好，粒径分布窄，*小研磨细度在D97≤70nm