全新发布的 AFM-in-Phenom XL 结合了扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 的优势，实现了在同一系统中对样品进行多模态（SEM 及 AFM 形貌、元素、机械、电学、磁学）关联分析。

· 设备扫描范围（开环）：100μm×100μm×20μm

· 设备扫描范围（闭环）：80μm×80μm×16μm

· 分辨率：0.2nm×0.2nm×0.04nm

· **样品尺寸：21mm×11mm×8mm

· **样品重量：100g

· 成像模式：表面形貌和粗糙度、CAFM、KPFM、FMM、PFM、EFM、F-z curves、I-V curves等