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等离子精炼氧化钇粉末

Y₂O₃

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苏州云火材料科技有限公司

江苏

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品牌：

云火材料

型号：

Y₂O₃

关注度：

151

产品介绍


在半导体芯片制造中，刻蚀设备腔体会受到高能等离子体的猛烈轰击。氧化钇（Y₂O₃）因其**的耐等离子体腐蚀性和化学稳定性，常被制成粉末，通过大气等离子喷涂（APS）或超音速火焰喷涂（SPS）等技术，在设备内壁形成致密的防护涂层。这能有效减少颗粒污染，将设备大修周期从十几天延长至数月。


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Y₂O₃

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