SIO，真空吸着固定装置，ポーラスチャック，多孔吸盘，陶瓷多孔 chuck，薄板真空吸附台

产品介绍

SIO 多孔质真空吸盘（ポーラスチャック），以多孔陶瓷作为吸附面，依靠整体均匀透气实现真空吸附固定。区别于常规钻孔吸盘，不会在工件表面留下吸附痕迹，适合超薄、软质、易变形基板的夹持，广泛用于面板、半导体、薄膜加工与检测工序。

产品特点

可自定义

可根据作业需求定制尺寸与形状，支持连接使用。

多孔颗粒的粒径也可根据用途进行选择。

消除堵塞也很简单

在作业结束时，只需将吸尘模式切换为吹气模式，就能轻松解决堵塞问题。

可对吸附面本身进行研磨

由于多孔表面本身可以进行研磨，因此能够轻松地对吸附面进行维护和调整。

不挑工作

以往难以处理的非磁性材料（铝、SUS、树脂），以及微型工件和大型工件，现在都能轻松实现吸附与固定。

没有因加工热而产生的变形。

多孔结构由陶瓷制成，而基座则由大理石制成，因此不会因加工产生的热量而发生变形，也不会出现热传导现象。

作业效率的提升

繁琐的部件安装与调整工作可以极其顺畅地完成，因此作业效率大幅提升。

主要用途

1. LCD/OLED 玻璃基板、薄膜基板的检测、曝光、裁切固定

2. 半导体晶圆、陶瓷薄板、光学镜片夹持

3. 研磨、抛光、激光加工、外观检查工序

4. 软膜、薄箔等容易压伤工件的精密固定

5. 洁净室工艺用载台夹具