自动平衡气垫精密光学平台

气垫隔振平台外形尺寸

1200×800×800mm

1500×1000×800mm

1800×1000×800mm

1800×1200×800mm

2000×1200×800mm

2400×1200×800mm

气垫隔振平台性能

平面粗糙度不大于0.8um

平面度不大于0.05mm/㎡

振幅不大于3um

固有频率不大于3Hz

M6安装螺孔间距25×25mm或50×50mm

平台表面材质采用高导磁不锈钢板面

有自动平衡和普通气垫平台2种

天津博君科技有限公司

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