日立驰名的冷场发射电子源和300 kV加速电压技术共同打造了超高分辨率成像和高灵敏度分析功能。双棱镜全息技术，空间分辨电子能量损失谱以及高精度平行纳米电子束衍射技术开辟了高效，高精度样品分析的新途径。

• 分辨率：

  0.1 nm（晶体点阵）

  0.19 nm（点对点）

  0.13 nm（信息极限）

• 放大倍数：200倍 至 1，500，000倍

• 加速电压：300 kV， 200 kV （*）， 100 kV （*）

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