设备名称：钙钛矿太阳能电池蒸发设备（不与手套箱连接）
设备型号：ZHD500
镀膜方式：金属+有机蒸发
真空腔室结构：立式方形前开门结构
真空腔室尺寸：L500mmxW500mmxH450mm
基片台尺寸：220mmx220mm
膜厚不均匀性：≤±5.0%（210mmx210mm范围内）
基片台加热：室温～300℃（选配）
基片台水冷：10℃～30℃
蒸发源/溅射靶：金属+有机共6组（选配）；有机配温控式加热电源，金属电源（国产或进口）
晶振膜厚监控仪：国产或进口多探头（可选）
控制方式：PLC + 触摸屏控制
占地面积：L1840mmxW800mmxH1920mm
总功率：≥12kW

1.国内技术**、市场占有率**，设计优化，性能稳定，使用维护成本低。

2.广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。