罗茨真空泵是一种无内压缩的真空泵，靠泵腔内一对渐开线转子同步反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。通常抽气速率较大，配置电机较小，故需要前级泵预抽，到前级泵抽到规定真空度后，启动罗茨真空泵，来提高抽速和真空度。它的结构和工作原理如图所示。

1、泵内运转件无摩擦、无润滑、无油可获得清洁真空。

2、转子渐开线摆线型线、加工精度高、动平衡确。

3、泵腔内气体垂直流动，有利于被抽气体中的灰尘与冷凝物的排除。

4、专业制造的高精度齿轮、进口轴承，确保运转平稳可靠。

5、采用油箱、中壁水冷夹套设计，对泵油、轴承、齿轮、密封组件进行全 方位冷却，大大提高使用寿命。

6、可与液环真空泵、往复真空泵、旋片真空泵、干式真空泵等组成罗茨真空机组。

7、过流部件可全不锈钢、镀镍磷合金、碳化钨，哈氏合金、衬四氟，根据真空强腐蚀性环境而选择防腐方案。

技术规格表