一、产品简介

EM69系列扫描电子显微镜成像质量出色、拓展性丰富、兼容低真空模块、自动功能强大，结合众多自动化功能，可帮助您在材料科学、生命科学或工业领域等进行科学研究及失效分析。

二、产品特点

兼容低真空模块

选配多功能超大样品仓

丰富的自动化功能

大视野导航相机

支持定制化

拓展丰富

三、技术参数

四、产品功能

1、预抽室-LoadLock

· 样品直径≤75mm；高≤15mm

· 换样时间：≤2min

· 换样杆配备锁定功能，防脱落

2、多功能精密调节模块

· 放大倍数粗调及细调 · 电对中

· 聚焦调节 · 消像散调节

· 亮度及对比度调节 · 电位移调节等

3 不同探测器同时成像

· 显示SE，BSE 双通道图像

· 可任意设置不同探

· BSE探测器，反应样品表面的成分特征

4 大图拼接

· 样品区全域视场矩阵自动规划，拍照流程无需人工干预

· 百千张级数据量快速拼接实时预览，构建全域清晰扫描大图

5 粒度分析

采用深度学习的复合图像处理算法，自动识别比例尺，精准识别图像中的颗粒，多种形态参数的统计与导出，

掺铝碳酸钴

多种形态参数结

多种形态数据输出

6 关键尺寸测量

具备距离，角度，水平线/垂直线/圆径测算等，丰富的图像测量功能

7电子束曝光

l 功能：基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。

l 应用场景

科研教学

微电子制造

原型器件开发

纳米材料制备

生物医疗研究