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FIG-5离子枪

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高德英特(北京)科技有限公司

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品牌:

高德英特

型号:

FIG-5离子枪

关注度:

1727

产品介绍

FIG-5离子枪

 

简介

ULVAC-PHI Model FIG-5型离子枪是一种高效能的溅射离子枪,它可以在高真空的条件下,有效地使用5kV加速电压。*小的离子束斑大小约为150um。此外,FIG-5型离子枪也可以工作在极低的能量范围如10eV用作中和目的,也可在200eV低能量范围用作溅射超薄薄膜。它可采用0-10V外置电源控制离子束的扫描。FIG-5型离子枪标准配置还包括差分抽气口。该离子枪的全部操作采用RS-232 接口由计算机控制。

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图1 - ULVAC-PHI FIG-5型离子枪

 

性能规格

工作电压: 0-5kV
**束流≥10uA @ 5kV Beam Voltage
低压性能≥12nA @ 10eV Beam Voltage
*小束斑≤200um
离子源类型电子轰击
发兰接口ICF70
工作距离30-70mm

 


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