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公斤级粉末ALD

KG

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厦门韫茂科技有限公司

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产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

韫茂科技

型号:

KG

关注度:

1848

创新点:

1、样品装载量最大每批次可达百公斤,大幅降低生产制造成本;
2、立式提料分散,配合底部进气方案,保证粉体与前驱体充分接触,有效提高包覆均匀性和高覆盖率;
3、可提升量子点、锂电池、催化剂等的循环寿命、安全性以及耐温耐压性。

产品介绍

公斤级粉末原子层沉积镀膜系统

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  详情介绍:

       KG 系列粉末ALD包覆设备可用于电池、催化剂、磁性材料等材料的高精度包覆量产。

该系统能够包覆原子层级到纳米层级的范围内的厚度,具有超高灵敏度、均一性和重复性,  并具有高自动化程度,操作方便、扩展灵活。


   技术参数:

  • 均一性 < 3%

  • 工艺温度 RT-300℃

  • 极限压力 < 500mTorr

  • 罐体容积近60L,百公斤级别/批次

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公斤级粉末ALD

KG

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