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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉

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南京晶升装备股份有限公司

江苏

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面议

品牌：

南京晶升

型号：

SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉

关注度：

207

产品介绍

◆ 设备采用TSSG法长晶，可获得更高质量的晶体；

◆ 配备CCD晶体直径监测系统、厚度监测系统，实时监测晶体生长状态以提升长晶效率；

◆ 配合扩径工艺，可实现大尺寸碳化硅单晶生长，同时可获得高载流子浓度的P型碳化硅单晶。

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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉

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