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立式加热炉体
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青岛育豪微电子设备有限公司
山东
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育豪微电子
立式加热炉体
116
产品参数类型：
设备性能指标 | ||
1 | 结构方式 | 立式 |
2 | 控温点数 | 1-6点 |
3 | 加热炉体内径 | 150-450mm |
4 | 适用工艺 | 扩散（磷扩、硼扩）、氧化（干氧、合成）、玻璃钝化（GPP）、退火、合金、铝预沉积 |
5 | 工艺温度范围 | 600-1280℃ |
6 | 恒温区长度 | 300-900mm |
7 | 加热炉丝线径 | 1-10mm |
8 | 加热炉丝品牌 | 北京首钢HRE/HYZ、瑞典Kanthal A-1/APM |
