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自动晶圆盒清洗机

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三和泰(无锡)半导体专用设备有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

三和泰

型号:

自动晶圆盒清洗机

关注度:

104

产品介绍

设备配置:

超声波震动仪2台

气枪2只,水枪2只

触摸屏1个(含PLC控制)

液位sensor 3个及漏液检测sensor1对


设备功能:

可处理wafer破片之后的FOUP

可作为FOUP 或parts 辅助量测设备

可作为FAB内各种parts 清洗机

定期的Auto cleaner monitor FOUP

产能可根据要求设计制作


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