热原子层沉积系统（钙钛矿专用）

衬底尺寸和类型

300*400mm基底

3D复杂表面衬底;多孔，通孔，高深宽比(HAR)样品

前驱体管路

4根源管线，*多加载6个前驱体源

4根气管线，*多加载6个气体管路

含O;为氧源，提供臭氧发生器(选配)

工艺温度

室温 至**300°C

基片加载

气动升降，抽拉式装载

沉积材料

SnO₃, NiO, TiO₂, Ga₂O₃, Ta₂O₅, HfO₂

大面积一致沉积｜覆盖 300 × 400 mm 基片

精准温控系统｜室温至 300 °C范围，温度均匀性 ≤±1 °C

面向钙钛矿电池应用｜兼容界面层、传输层与封装层等沉积