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微型共溅镀系统

定制-微型共溅镀系统

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厦门毅睿科技有限公司

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品牌：

毅睿/芯壹方

型号：

定制-微型共溅镀系统

关注度：

187

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微型共溅镀系统


微型共溅镀系统第4页-16.PNG     

微型共溅镀系统第4页-15.PNG



Description:

●尺寸:600(W)x1015(D)x1435(H)

●可实现<+/-3%的均匀沉积

●极限压力:≤5X10-7Torr

●阴极尺寸:2”x3


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