半导体行业专用仪器-磁控溅射镀膜设备-成都超迈光电-产品详情

磁控溅射镀膜设备

Research-cm-dm

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成都超迈光电

四川

产品规格型号

参考报价：

30-40万元

品牌：

超迈光电

型号：

Research-cm-dm

关注度：

154

产品介绍

多靶复合磁控溅射镀膜机，可满足合金膜、单层膜、多层膜、导电膜、非导电膜和反应溅射的需要，具有极高的实用性和通用性（三靶、垂直与共溅射合一、在线清洗基片等），能够提供高水平功能薄膜研制，特别适合于半导体、新能源、磁性材料、储氢材料、二维材料、超硬薄膜、固体润滑薄膜、自洁净薄膜、等领域前沿研究，同时可选配等离子刻蚀功能和辅助镀膜。

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