适用于2寸、3寸、4寸、6寸、8寸等多种尺寸晶圆的纯化学抛光

夹具可选择搭配不同重量的配重块，适用于不同材料的抛光工艺需求

抛光后粗糙度变化值ΔRa≤±2nm

夹板、夹具、偏心距等可根据客户需求订制

机身小巧，方便拆装

配备远程操作系统

几乎为零的机械作用力实现无橘皮无划痕效应

采用先进防腐材料和结构设计，达整机超强防腐