半绝缘型α相碳化硅长晶用粉

产品介绍

超低浅能级杂质高电阻率与高纯度兼备(7N及以上)亚微米至毫米级定制化生产，α相碳化硅(4H/6H型)为六方晶系高温相碳化硅，是第三代半导体核心配套粉体材料，分为导电型和半绝缘型。本产品采用自研高温自蔓延合成法及化学气相沉积法(CVD)制备，具备纯度高、粒径可控、晶型纯正、高温稳定(>2000°C)、导热/绝缘性优等核心特点，可全面适配半导体衬底量产需求，可提供全系列标准化产品及定制化解决方案。

核心优势

高纯度

产品纯度在7N以上，金属杂质ppm级管控(<0.1ppm)，满足高端场景严苛要求

晶型纯正

独有工艺可实现4H/6H单晶型占比达到95%以上，无杂相干扰，性能一致性强

全粒径

从亚微米至毫米级定制化生产，适配全场景应用

批次稳定

量产级批次稳定，全流程溯源管控，解决下游量产批次波动痛点

嘉兴鬃晶科技有限公司

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