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光学仪器及设备

1850mm~2200mm幅宽辊对辊纳米压印光刻设备 GL 2200 R2R
1850mm~2200mm幅宽辊对辊纳米压印光刻设备 GL 2200 R2R185

150mm&300mm 量产型高精度紫外纳米压印光刻设备
150mm&300mm 量产型高精度紫外纳米压印光刻设备171

6代线(1850x1500mm) 面板级辊对版纳米压印光刻设备
6代线(1850x1500mm) 面板级辊对版纳米压印光刻设备169

200/300mm WLO工艺量产型紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)
200/300mm WLO工艺量产型紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)165