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TGV 化学湿法蚀刻设备

TGV 化学湿法蚀刻设备

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深圳市圭华智能科技有限公司

广东

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

圭华智能

型号：

TGV 化学湿法蚀刻设备

关注度：

103

产品介绍

设备特点

● 蚀刻液无消耗，恒定浓度蚀刻，直径和厚度尺寸与理论值一致

● 温控窗口宽，蚀刻液浓度温度不敏感，一致性好

● 蚀刻后表面粗糙度基本不变

● 满足无氟安全环保、低成本、高效率、高量产需求

工艺流程

◆ 上料

◆ 蚀刻

◆ 浸泡⽔洗

◆ 蚀刻

◆ 浸泡⽔洗

◆ 浸泡酸洗

◆ 浸泡⽔洗

◆ 慢提拉

◆ 烘⼲

◆ 下料

设备参数

项目

技术参数

加工尺寸515*510mm，920*730mm 和12寸晶圆可选
孔径大小＞1.5um


获取更多信息，请访深圳市圭华智能科技有限公司 网站

产品咨询

TGV 化学湿法蚀刻设备

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