粉体行业在线展览
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SiC晶圆表面载流子浓度检测
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东莞市中科汇珠半导体有限公司
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中科汇珠
SiC晶圆表面载流子浓度检测
1024
技术参数:
1)测试模式: MOS、Schottky
2)样品尺寸:直径≤200mm，非标样品或者碎片*小测试尺寸30mmX30mm
3)外延层载流子浓度测试范围:1E14-5E18cm-3
4)单点测试面积:0.018-0.027 cm2
5)汞接触面积重复性:1sigma<0.5%
