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牛津Oxford原子层刻蚀机PlasmaPro 100 ALE

德国耐驰Netzsch热膨胀仪DIL 402

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德国耐弛Netzsch激光法导热仪LFA 427

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德国Netzsch热重分析仪TG 209 F3 Nevio

牛津Oxford等离子沉积机PlasmaPro 80 PECVD

瑞典Mycronic掩膜计量系统Prexision-MMS

牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 ICP

德Sentec电感耦合等离子体ICP干法刻机SI 500

德国Sentech等离子沉积机SI 500 D

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AFM德国ParcanNano高速原子力显微镜(Nano analytik）

Heidelberg掩膜版光刻机VPG+ 800

英国Oxford等离子增强化学气相沉积System100

英国Oxford Vacuum电子束蒸发镀膜机Vapour Station

Sentech集成等离子刻蚀和沉积的多腔系统

美国sinton美Sinton少子寿命测试仪WCT-120，Suns-Voc

美国Anasazi小型无液氦核磁共振波EFT-60、EFT-90

德国Sentech ALD实时监测仪RTM