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锰靶

Ф50.8*6.35mm

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北京中金研新材料科技有限公司

北京

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参考报价:

1万元以下

型号:

Ф50.8*6.35mm

关注度:

18

产品介绍

锰(Manganese, Mn)是一种具有独特磁性与化学活性的过渡金属,在磁性材料、半导体薄膜及功能氧化物中发挥重要作用。锰靶材因其优良的溅射性能和与多种元素的可合金化特性,常用于制备磁阻效应膜(GMR、TMR)、半导体掺杂膜、以及透明导电膜等。其应用覆盖电子、光学、能源与科研领域。采用真空熔炼与热等静压(HIP)工艺制备,晶粒细小、致密度高、杂质含量低。

产品可制成圆形、矩形或异形靶材,适配直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。

可选铜(Cu)、钛(Ti)或铟焊(In Bonded)背板结合,以提高热传导性能和机械稳定性。高纯度(3N–4N),保证膜层纯净;


致密结构,溅射稳定性优异;


磁性好,可形成功能性磁薄膜;


可定制尺寸、厚度及背板焊接方式;


支持与多种元素共溅射形成复合膜。磁性材料:用于GMR/TMR多层结构中的Mn基膜层;


半导体器件:用于掺杂膜与接触层;


光学镀膜:用于调控薄膜反射率与吸收特性;


能源材料:用于电极、催化及储能薄膜;


科研实验:用于MnOₓ、MnAl、MnNi等化合物膜研究。


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