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ESDP变螺距干式螺杆真空泵
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烟台沃尔姆真空技术有限公司
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ESDP变螺距干式螺杆真空泵
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■ ESDP干式螺杆泵的应用范围
●ESDP系列在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。
● 在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
●制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。
●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺
●工业排气;集中式真空处理系统
●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物
●食品行业用于香料、香精浓缩，食品包装等。
■ ESDP干式螺杆真空泵技术参数
| 型号 | 抽气量 | 极限压力 | 电机功率 | 转速 | 进气 | 排气 | 冷却水量 | 噪声 | 重量 |
| M³/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
| ESDP320 | 260 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 10 | 80 | 320 |
| ESDP430 | 360 | 1.33 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 12 | 80 | 380 |
| ESDP650 | 540 | 1.33 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 12 | 80 | 580 |
| ESDP900 | 750 | 1.33 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 80 | 680 |
| ESDP1500 | 1400 | 1.33 | 37 | 2900 | 125 | 80 | 30 | 82 | 950 |
如需得到更为详细的信息，请咨询客服。
■ ESDP干式螺杆真空泵标准配件
基座和防护罩
排气消声器及进气分离器
吸气口
止回阀
真空计
■ ESDP干式螺杆真空泵可选配件
吸滤器
排气冷凝器
吸入式气液分离器
流量开关及温度开关
