DL系列是Logitech具有创新性的加工解决方案，是其**高度自动化的智能样品制备系统。该系统提供对Logitech智能气动夹具的动态负载控制，能够在广泛的半导体应用中实现快速、可靠且高度精确的结果。*的自动化显著减少了设置和清理时间，而集成的软件则提供了一个用户友好的平台，具有精确、可控的加工功能。Logitech的智能气动夹具利用气压对夹头施加高达40千克的下压力，并能达到高达100转分钟的旋转速度，确保在整个过程中实现优良的样品加载效果。这些特性能够满足即便是*为苛刻的应用程序的需求。

有两种配置可供选择:DL81型，配备单个工作站;DL82型，配备两个工作站。独立系统，配备直径为600/700窒米的板子。可同时运行*多两个精密气动夹具，以处理大型单个样本或多个较小样本，夹具固定样本的**尺寸可达8英寸/200毫米，或自由研磨样本的**尺寸可达12英寸/300毫米。

电动研磨来具，能够实现高几何精度和在整个过程中保持样本的稳定旋转，从而获得出色的且可重复的晶圆均匀性精密气动夹具具有集成的卡盘下压力校准系统和自动夹具提升臂，可将夹具安装在和从板子上升起，并将其翻转以使卡盘面朝上，以便操作人员进行样本处理。该夹具可以编程为在达到目标去除量时自动升起-一从而实现自动化操作并防止过度加工。材料去除率(MRR)可以被监测和控制到微米级别的精度。原位板厚度监测器将评估并控制板的状态。处理中。国际认可的EtherCAT协议被用于实现与主要驱动单元的通信，以确定对机器监控和诊断有用的参数，同时一个工业交通灯塔会提供机器状态警报。*多可容纳四个气缸，用于多阶段加工。增加的容量为3.8升的气缸意味着更长、不间断的加工过程，可用于研磨和抛光浆液。通过螵动泵计量的磨料供给单元，允许操作人员设置每分钟5至100窒升的流量。这极大地提高了结果的质量和准确性，同时减少了浪费和运营成本。该系统是封闭且密封，带有排气口(直径150室米)，允许安装提取连接以处理诸如镓砷化物(GaAs)或牺磷化物(InP)等危险材料。配备有维修吊车，以便安全、轻松地搬运研磨和抛光板。它可以从地面提升到工作区域，**提升重量可达200千克，伸展距离为380毫米。通过系统的图形用户界面(GUI)对过程参数进行实时分析和控制，包括磨料供给。15英寸显示屏及触摸屏用户界面。该模式允许操作人员创建、保存和调用多阶段工艺配方，确保每个工艺过程都能重复，即使在不同的操作人员操作下也是如此。该集成的Logwaste系统能够高效地处理泥浆废料。重沉淀池与滴水盘密封连接，以防止气体逸出，其连接方式便于拆卸和移除以便进行处理。重沉淀池与中间沉淀池和液体储罐相连。