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12英寸全自动单片碳化硅CMP平台

12英寸全自动单片碳化硅CMP平台

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铭扬半导体科技(合肥)有限公司

安徽

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品牌:

铭扬半导体

型号:

12英寸全自动单片碳化硅CMP平台

关注度:

164

产品介绍

● 12英寸全自动单片碳化硅CMP平台

◎ 灵活扩展:多盘结构,按需配置

◎ 高精抛光:多区抛光头,优异均匀性

◎ 智能检测:终点检测,一致良率

◎ 高效运行:稳定可靠,支持连续产线


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12英寸全自动单片碳化硅CMP平台

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