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8英寸全自动单片碳化硅CMP平台

8英寸全自动单片碳化硅CMP平台

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面议

品牌：

铭扬半导体

型号：

8英寸全自动单片碳化硅CMP平台

关注度：

146

产品介绍

◎ 高效量产：粗精抛一体，支持不同晶圆尺寸的工艺配置快速切换

◎ 灵活适配：模块化设计，干/湿进出可选

◎ 智能控制：终点检测，自主软件

◎ 自主可靠：国产核心部件，兼容多种衬底

获取更多信息，请访铭扬半导体科技（合肥）有限公司网站

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8英寸全自动单片碳化硅CMP平台

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