泵-CXF-250/2301G光伏专用磁悬浮分子泵-北京中科科仪股份有限公司-产品详情

CXF-250/2301G光伏专用磁悬浮分子泵

CXF-250/2301G

直接联系

北京中科科仪股份有限公司

北京

产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

kyky

型号：

CXF-250/2301G

关注度：

产品介绍

产品特点

更低的空间安装要求：电控组件体积更小，适应严苛的安装空间

更丰富的通讯接口：支持RS232/485，I/O，Profibus，Ethercat等控制方式

更便捷的应用功能：支持通过PC软件读取产品状态、故障信息及控制调试

更多样的定制功能：支持通讯定制，可实现终端客户同类产品无缝直替

应用领域

表面分析、等离子体监测、残余气体分析、光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、注入-光束、检测、分子束外延 MBE、真空锁转运箱、平板显示、LED/OLED、硬盘镀膜、光伏、玻璃镀膜、CD/DVD、光学镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜、医学技术、电子束焊接、真空干燥、核研究、聚变技术、等离子研究、粒子加速器、模拟空间站、冷冻研究、基本粒子物理学、纳米技术、生物技术

技术指标

进气口法兰	DN250 ISO-F DN250 CF	排气口法兰	KF40
抽速速率（L/s）	N2:2150 Ar:1900 He: 1500 H2:850	压缩比	N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He: ＞1E4 H2:＞1E3
极限压强（Pa）	1E-7（橡胶密封Rubber seal） 1E-8（金属密封metal seal）	**瞬时入口流量（sccm）	1300
保护气入口法兰（选配）	KF10	推荐保护气体流量（sccm）	50
**允许磁场强度（mT）	径向Radial：3 轴向 Axial：15	额定转速（RPM）	27000
启动时间（min）	≤8	停机时间（min）	≤11
冷却方式	水冷	冷却水流量（L/min）	3
冷却水温度（℃）	20±5	电源电压（VAC）	220±10%，50Hz 110±10%，60Hz
**功率（W）	1500	适配电源型号	CXFD-1601G
建议前级泵（L/s）	≥22	重量（kg）	60（ISO-F）