泵-CXF-200/1401CV磁悬浮分子泵-北京中科科仪股份有限公司-产品详情

CXF-200/1401CV磁悬浮分子泵

CXF-200/1401CV

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北京中科科仪股份有限公司

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产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

kyky

型号：

CXF-200/1401CV

关注度：

产品介绍

产品特点

高性能气体输送涡轮叶片

耐反应产物沉积结构与功能

丰富的配件与可扩展性

应用领域

光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、平板显示、LED/OLED、等离子研究、粒子加速器

技术指标

进气口法兰	DN200 ISO-F DN200 CF	加热温度	60至70℃
排气口法兰	KF40	抽速速率（L/s）	N2:1280 Ar:1100 He: 880 H2:560
压缩比	N2:＞1E8 Ar:＞1E8 He: ＞1E4 H2:＞1E3	极限压强（Pa）	1E-7（橡胶密封Rubber seal） 1E-8（金属密封metal seal）
**瞬时入口流量（sccm）	1100	保护气入口法兰（选配）	KF10
推荐保护气体流量（sccm）	20	**允许磁场强度（mT）	径向Radial：3 轴向 Axial：15
额定转速（RPM）	30000	启动时间（min）	≤6
停机时间（min）	≤8	冷却方式	水冷
冷却水流量（L/min）	2	冷却水温度（℃）	20±5
电源电压（VAC）	220±10%，50Hz 110±10%，60Hz	**功率（W）	1000
适配电源型号	CXFD-1001H	建议前级泵（L/s）	≥16
重量（kg）	51（ISO-F）