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微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备
面议
辰皓真空
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备
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设备特点
配置高:核心零部件全进口;
操作省:上下料方便:
成本低:运行成本低,耗材使用寿命更长:
易调节:等离子球形状可调节。
应用领域
适用于制备大尺寸宝石级单晶钻石;高取向度金刚石晶体;纳米结晶金刚石;碳纳米管/类金刚石碳(DLC):MPCVD同样适用于其它硬质材料如A0:,c-BN的薄膜沉积和晶体合成。
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