半导体行业专用仪器-ALDER-500PAS(A500PAS)半导体设备-光驰半导体技术（上海）有限公司-产品详情

ALDER-500PAS(A500PAS)半导体设备

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光驰半导体技术（上海）有限公司

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品牌：

光驰

型号：

ALDER-500PAS(A500PAS)

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特点及优势

小量多种材料的定制设计

工艺温度**400℃

支持低温plasma工艺（可选配）

自动化搬送：基板**8inch*10pcs

工艺材料：SIO₂\Al₂O₃\TIO₂等

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