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Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备

Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

苏大维格

型号:

Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备

关注度:

156

产品介绍

Tornado 3000是维普推出针对8、12英寸亚微级精度的晶圆全自动光学检测设备,基于Tornado 2000的成熟架构,通过对光学系统的进一步升级优化,不断提升光学系统成像分辨率,以适应更为苛刻的工艺要求。

应用场景

针对8、12寸晶圆前道、中道、及先进封装过程中的2D、3D缺陷检测。

关键特性

  • 支持8寸SMIF、12寸FOUP及Open Cassette等上料方式

  • 双光路线阵+面阵成像系统,快速扫描

  • 基于UV的光学系统,可更好捕获细微缺陷

  • 支持硬件、软件、拟合多种自动聚焦模式,保证大翘曲晶圆的检测精度

  • 支持多ROI、多图层的分区检测

  • 支持D2D、D2G、D2DB 检测算法

  • 支持AI的缺陷检测及缺陷分类

  • 支持与客户MES系统数据对接


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