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Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备
面议
苏大维格
Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备
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Tornado 3000是维普推出针对8、12英寸亚微级精度的晶圆全自动光学检测设备,基于Tornado 2000的成熟架构,通过对光学系统的进一步升级优化,不断提升光学系统成像分辨率,以适应更为苛刻的工艺要求。
针对8、12寸晶圆前道、中道、及先进封装过程中的2D、3D缺陷检测。
支持8寸SMIF、12寸FOUP及Open Cassette等上料方式
双光路线阵+面阵成像系统,快速扫描
基于UV的光学系统,可更好捕获细微缺陷
支持硬件、软件、拟合多种自动聚焦模式,保证大翘曲晶圆的检测精度
支持多ROI、多图层的分区检测
支持D2D、D2G、D2DB 检测算法
支持AI的缺陷检测及缺陷分类
支持与客户MES系统数据对接
MiPrinter 连续生长3D微纳打印系统
Multi-μ 3DPrinter 高保真微纳3D打印系统
光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems
Vortex 2000
Tornado 3000晶圆全自动光学检测设备
Tornado 2100套刻测量设备
Tornado 2000晶圆全自动光学检测设备
STORM 2000SLH缺陷检测设备
FPD Mask缺陷检测
FlexAligner-R500
FlexAligner-P200&FlexAligner-P350
Nanocrystal 大幅面纳米光刻
TH-F120
BL-GHX-VK
A500
线性压电纳米位移台MF40-25A
InSight 软包电池透射X射线衍射仪
ParticleX TC
SuperSEM N10
SLS-LED-80B
Lyza 3000
在线浊度计
SCI300