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光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems

光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

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面议

品牌:

苏大维格

型号:

光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems

关注度:

153

产品介绍

针对异质结电池片铜栅线工艺的图形化需求,专门设计了一款投影扫描光刻系统,具有快速光刻、分辨率好、大焦深的特点,采用405nm光纤激光光源,非常适合在光伏专用感光油墨上进行曝光,实现高品质的槽型结构。配置了CCD识别基片纠偏系统,实现30μm对准精度。


该投影扫描光刻模式,采用较低成本的普通掩模版作为图形输入,且具有曝光均匀性与一致性好、工艺窗口大、对基片厚度误差适应性高、便于与前后道设备组线的优点,是光伏图形化的理想解决方案。

规格参数

* 具体指标因工艺差异有所不同

采用抛光基片,负光刻胶的光刻结果

 采用光伏镀铜基片,感光油墨的光刻结果


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光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems

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