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Vortex 2000晶圆半自动光学关键尺寸及套刻测量设备

Vortex 2000

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

苏大维格

型号：

Vortex 2000

关注度：

242

产品介绍

应用场景

针对4、6、8、12寸晶圆、光罩Mask关键尺寸及套刻精度测量。

关键特性

  • 可同时兼容**12寸晶圆及Mask的CD量测

  • 支持UV、白光照明及光学系统

  • 支持透射光（用于Mask）、反射光量测

  • 光学系统基于Recipe的自动测量

  • 支持灰度阈值、灰度变化率、直线拟合等多种线宽测量方法

  • 多持非线性补偿功能

  • 支持低对比度下的线宽测量

  • 支持通过GDS文件进行快速定位的测量

  • 提供摇杆、专用控制键盘进行平台定位以及常用功能的快捷操作


获取更多信息，请访苏州苏大维格科技集团股份有限公司 网站

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Vortex 2000

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