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FPD Mask缺陷检测

FPD Mask缺陷检测

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

苏大维格

型号:

FPD Mask缺陷检测

关注度:

162

产品介绍

STORM 2000SLV是维普针对于大尺寸Mask 基板开发的缺陷检测设备,适用于抛光板、铬板、均胶板中颗粒、针孔、脏污的检测。采用先进的光学系统,通过一次扫描可完成颗粒、针孔的识别检测。针对Mask Blank基板厂商,具备高精度、高效率、易使用等重大优势。

关键特性

可兼容RSP200、Nikon Case、水晶盒的开盒与自动上下板

基于明场+暗场的检测方式

pellicle面、glass面、膜框内外部检测区域可灵活设置


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