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全自动步进式纳米压印光刻生产线 GL400 SR-V
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青岛天仁微纳科技有限责任公司
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天仁微纳
全自动步进式纳米压印光刻生产线 GL400 SR-V
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GL400 SR-V是天仁微纳全自动步进式（Step & Repeat）紫外纳米压印光刻生产线，可高效地进行母模具制作或在基底上进行复杂结构的直接图案化，拼版单元尺寸可灵活定义，轻松应对各种母版由小转大需求，**压印面积可达400mm×400mm，降低纳米压印光刻母模具的制作成本，使低成本纳米压印生产成为可能。
主要功能
全自动步进式纳米压印光刻生产线，**压印面积400mm×400mm；
步进式纳米压印方式，确保转印精度一致性，大幅度降低大面积纳米压印母模具加工成本；
高精度压印胶涂布单元，可选用Inkjet或Spin coating 涂布方式；
Cassette to cassette自动上下片，光学巡边预对位；
全自动步进式纳米压印光刻流程，包括自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模等；
300mm步进式纳米压印光刻/拼版设备
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