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200/300mm WLO工艺量产型紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)

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青岛天仁微纳科技有限责任公司

山东

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品牌:

天仁微纳

型号:

200/300mm WLO工艺量产型紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)

关注度:

165

产品介绍

主要功能

  • 全自动200/300mm晶圆级光学加工(WLO)生产线;

  • APC主动模具基底平行控制技术,确保大面积晶圆压印TTV均匀性;

  • Cassette to cassette自动上下片,光学巡边预对位;

  • 设备内自动复制柔性复合工作模具,支持自动更换工作模具,适合连续生产;

  • 内置高精度自动点胶功能;

  • 自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程在密闭洁净环境中自动进行,以保证压印质量;

  • 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>1000mW/cm2),水冷冷却,特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制,**支持各种商用纳米压印材料;

  • 随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括标准示范WLO等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际**的纳米压印水平。

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