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200/300mm WLO工艺量产型紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)
面议
天仁微纳
200/300mm WLO工艺量产型紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)
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全自动200/300mm晶圆级光学加工(WLO)生产线;
APC主动模具基底平行控制技术,确保大面积晶圆压印TTV均匀性;
Cassette to cassette自动上下片,光学巡边预对位;
设备内自动复制柔性复合工作模具,支持自动更换工作模具,适合连续生产;
内置高精度自动点胶功能;
自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程在密闭洁净环境中自动进行,以保证压印质量;
标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>1000mW/cm2),水冷冷却,特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制,**支持各种商用纳米压印材料;
随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括标准示范WLO等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际**的纳米压印水平。
300mm步进式纳米压印光刻/拼版设备
LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻生产线
LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻设备
Desktop纳米压印光刻设备
研发型多功能纳米压印光刻设备
200mm WLO工艺紫外纳米压印光刻设备 晶圆级光学器件加工(WLO)
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150mm&300mm 量产型高精度紫外纳米压印光刻设备
200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备
200/300 mm 全自动纳米压印光刻生产线
100mm&200mm&300mm 紫外压印/热压印结合纳米压印光刻设备
2代线(370x470mm) 高精度紫外纳米压印光刻设备
TH-F120
BL-GHX-VK
A500
线性压电纳米位移台MF40-25A
InSight 软包电池透射X射线衍射仪
ParticleX TC
SuperSEM N10
SLS-LED-80B
Lyza 3000
在线浊度计
SCI300